據(jù)國家知識產(chǎn)權(quán)局公告,華為技術(shù)有限公司申請一項名為“一種電容結(jié)構(gòu)、電容陣列、存儲器及電子設(shè)備“,公開號CN117766593A,申請日期為2022年9月。
專利摘要顯示,本申請?zhí)峁┝艘环N電容結(jié)構(gòu)、電容陣列、存儲器及電子設(shè)備,電容結(jié)構(gòu)包括至少一個第一極和第二極連接的場效應(yīng)晶體管,該場效應(yīng)晶體管包括疊層結(jié)構(gòu)、溝道層、柵氧化層和柵極,疊層結(jié)構(gòu)包括依次層疊設(shè)置的第一極、介質(zhì)層和第二極,且疊層結(jié)構(gòu)上開設(shè)有溝槽,溝槽的開口位于第二極的上表面,溝槽貫穿第二極和介質(zhì)層。溝道層覆蓋溝槽的側(cè)壁和底部,柵氧化層覆蓋溝道層,柵極填充于柵氧化層所限定的區(qū)域且從溝槽中溢出。采用上述場效應(yīng)晶體管構(gòu)成電容結(jié)構(gòu)可以減小面積開銷,可以增加電容陣列的電路密度,并采用電容陣列作為冗余存儲陣列,可以增加存儲器的存儲密度。